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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆生產线服务设施的超注射用水设计,每天都在导致含硅废污水150吨。废污底层的水中虽无天价属,但硅水平高易积灰,且电阻值率需实现18MΩ·cm才能够回收利用。原本办理工学院艺时未无法新修订的《電子工业企业水的污染源摆放的标准》(GB39731-2020)特别摆放允许值。 生活污水含量特征 核心生态破坏物 :电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒肥料硅(粒度0.1-1μm) 唯一性要 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 水质检测属性 :低电阻率(<50μS/cm)但硅氧化物结构很复杂 办理技艺工艺程序 全新用"梯级膜分离法+电去阴阳离子"女子组合艺: 微滤预整理 :1μm陶瓷图片膜阻止大颗粒肥料硅,通量达到80LMH 亚铁离子对换树酯 :D201大孔光敏树脂首选性过滤硅酸大分子 特殊RO软件系统 :首位段收购率60%,2.段用于高脱硼膜元器件 EDI电去铁离子 :功率硬度2A/m²,不断地弄掉稳定度阳离子 红外光谱消毒杀菌 :254nm紫外光线使用量40mJ/cm² 技能短板 制作多功能阻硅剂(有机肥料胺类复合型物),廷迟膜环境破坏时间是3倍 EDI控制模块研发流道设置,硅剔除率提高了至99.8% 线下硅介绍仪(测试范围之内0.1-500μg/L)把控好脱贫攻坚把控好 操作取得的成绩 经3.方查测: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼占比从8μg/L下降0.3μg/L 系统性二手回成品率从原40%完善至68% 膜更新时间段延伸至5年,年启用总成本调低35%

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